| 品牌:MKS | | 型号:356006-YE | | 加工定制:否 | |
| 测量范围:1 x 10-9 Torr to atmosphere | | 测量精度:15%读值 | | 重复性:< 5% | |
| 尺寸:9.2*11.8 mm | | 电源:24 VDC 26 W max | | 用途:高真空测量 | |
紧凑型组合测量仪:Micro-Ion Plus将新的微型Conductron热损失传感器与Micro-Ion传感器集成在一个仪表封印中,体积不到传统电离化测量仪的10%。 高性能:保留了完整的Micro-Ion设计,并配有专利的双离子收集器,增加了电子路径长度和离子收集效率,在小体积内提供高性能。 双离子化传感器灯丝:双重、耐烧毁的掺钇氧化铱灯丝提供长寿命的测量仪。通过使用第二个灯丝作为备份,直到在常规维护程序期间更换测量仪,避免了非计划停机。 冷却运行:Micro-Ion传感器仅消耗传统玻璃或裸露测量仪8%的功率,产生的热量更少,不会干扰工艺或实验。 坚固的全金属设计:焊接部件、真空烧结并在无尘室环境中组装,全部封装在不锈钢封印中以确保传感器的完整性。 端口屏蔽:保护电极组件在组装或真空腔维护过程中免受损害,并为提高测量性能提供稳定的电气环境。 广泛的真空配件选择:简化在您的真空系统上的安装。 可替换的测量仪:只需一把螺丝刀即可快速轻松地替换测量仪。
灯丝:
氧化钇涂层铱
宽测量范围:允许真空系统性能从1x10^-9托(1x10^-9毫巴;1x10^-7帕)连续监测至大气压。
简单模块化设计:电子设备和传感器被封装在一个紧凑且易于安装的模块中,消除了对多个压力计、电缆和电子设备的需要。
控制系统简化:集成的热损失传感器自动控制离子计的激活和去激活,无需外部控制离子计。
RS-485、模拟输出和远程I/O:除了RS-485通信和模拟输出外,该模块还提供压力计开/关、脱气、大气校准以及键盘锁定等输入控制功能,以及压力计、灯丝和脱气状态的输出。
工艺跳转点:继电器触点允许控制其他真空设备并提供安全联锁。设置可通过本地显示接口、RS-485或DeviceNet接口进行调整。
本地显示/接口(可选):通过绿色LED显示屏和按键接口,可提高设置时间和诊断能力,提供使用点的压力指示以及工艺跳转点的本地调整。 DeviceNet接口版本:提供高速访问压力测量和轻松配置压力计参数的功能。 DeviceNet网络电源灵活性:压力计电源可以通过DeviceNet微型连接器或单独的连接器提供。