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详细信息
格兰维尔-菲利普斯® 390微离子®模块结合了经过验证的微离子电离计技术、微型热损失传感器和两个压阻式传感器,提供从高真空到大气的高精度连续压力测量。使用其膜片传感器,该产品能够提供准确的绝对压力直至大气压,以及精确指示真空室与环境之间的差分压力。
连续压力测量范围从10^-9托到大气压
在大气压下进行精密差分压力测量
双离子化计丝增加设备正常运行时间
可选设定点继电器用于工艺控制
模拟、RS-485、DeviceNet或EtherCAT接口
可选图形LCD显示屏 -
上海伟务低温真空设备有限公司CTI低温泵; InstruTech; Televac; MKS ; ETI; Agilent; Pfeiffer; 真空泵; 泵; 冷冻机、真空计 |